北京烁科中科信电子装备有限公司

来源:信息发布     作者:     发布时间:2020年07月15日     浏览次数:         

  北京烁科中科信电子装备有限公司(简称“烁科中科信”)成立于2019年6月,以电科装备48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成,总部位于北京市通州区光机电一体化产业基地,在长沙设有分公司。

  作为国内目前唯一一家集成电路领域集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商,烁科中科信公司始终致力于为国家解决离子注入机关键技术自主可控难题。经过数十年的攻关,在国家科技02重大专项等项目的支持下,公司连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等核心关键技术,形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等全系列离子注入机产品体系,工艺段覆盖至28nm,批量应用于全球知名芯片制造企业,迈出了我国离子注入机自主可控发展的坚实步伐。

  烁科中科信已申请395项发明专利,国际专利2项,具备高新技术企业、博士后科研工作站等资质,建成了符合SEMI标准的离子注入机批量制造平台,年产达30台,并应用信息化管理系统实现离子注入机批量制造全程质量控制及追溯。

  烁科装备,国芯基石。烁科中科信将不断攻克离子注入机关键核心技术,持续推进离子注入机产业化,致力成为国际一流的离子注入机供应商和服务商,铸就我国集成电路产业更加牢固的基石。

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