2023年12月21日

　　“国资小新”联合国务院国资委网站、

　　《国资报告》杂志

　　推荐20个央企国之重器选项

　　并在“国资小新”、

　　国资报告新媒体平台发起投票

　　

　　综合各平台网友投票情况和专家意见

　　电科装备离子注入机获评

　　“2023年度央企十大国之重器”！

　　

　　

　　中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺全覆盖

　　

　　离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。中国电科旗下中电科电子装备集团有限公司连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖，切实保障国产芯片生产制造。