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平板式PVD设备（含自动化）
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发布时间：2022年10月11日
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产品型号：RSP-8000型
产品简介：PVD又称物理气相沉积，用于高效异质结（HJT）太阳电池硅片的正反面溅镀 ITO透明导电薄膜。量产型磁控溅射设备，可在一次工艺过程实现正反面的镀膜。自动上下料系统具备上料自动外观（破片、缺口、崩边）检测及下料PL检测功能，产能大、稳定性好。
应用领域：新能源-光伏产业链生产企业
核心参数：型号：RSP-8000
成膜种类：透明导电氧化薄膜
载板规格：210×210 mm半片，半片载片量9×20=180片
碎片率：≤0.08%
膜厚均匀性：3%（片内)、4%(片间)、3%(批间)
方阻均匀性：50±5Ω
lTO透光率：≥88%(400nm-1200nm)
温度范围：90-200℃
阴极配置：强磁场，靶材表面全长度方向>1000GS
硅片定位精度：≤±0.1mm
检测模组配置：下料PL检测模组，选配AOI检测模组
Uptime：92%
产能：12000-14400片/时
联系人：黄凌飞 联系方式：18684881206
