平板式PVD设备(含自动化)
产品型号:RSP-8000型
产品简介:PVD又称物理气相沉积,用于高效异质结(HJT)太阳电池硅片的正反面溅镀 ITO透明导电薄膜。量产型磁控溅射设备,可在一次工艺过程实现正反面的镀膜。自动上下料系统具备上料自动外观(破片、缺口、崩边)检测及下料PL检测功能,产能大、稳定性好。
应用领域:新能源-光伏产业链生产企业
核心参数:型号:RSP-8000
成膜种类:透明导电氧化薄膜
载板规格:210×210 mm半片,半片载片量9×20=180片
碎片率:≤0.08%
膜厚均匀性:3%(片内)、4%(片间)、3%(批间)
方阻均匀性:50±5Ω
lTO透光率:≥88%(400nm-1200nm)
温度范围:90-200℃
阴极配置:强磁场,靶材表面全长度方向>1000GS
硅片定位精度:≤±0.1mm
检测模组配置:下料PL检测模组,选配AOI检测模组
Uptime:92%
产能:12000-14400片/时
联系人:黄凌飞 联系方式:18684881206