碱抛自动化设备

来源:     作者:石小川     发布时间:2022年10月14日     浏览次数:         

产品型号:GSL-10A;GXL-10A;GXL-3

产品简介:链式去PSG/BSG上料机:AGV将满花篮送至自动化,自动化将花篮中的硅片传输至去PSG/BSG工艺主机;链式去PSG/BSG下料机:硅片从去PSG/BSG工艺主机流出,传输至自动化内装满空花篮后,满花篮从传输通道流出;链式转槽式自动化:六轴机器人搬运空花篮至去PSG/BSG下料机台,并将去PSG/BSG下料机台的满花篮搬运至槽式碱抛工艺机台的上料台;碱抛下料设备:槽式碱抛工艺机下料台的横放花篮经自动化搬运翻转后为立式花篮输出,并实现与AGV的对接。优势:产品具备结构简单、产能高、稳定性好、自动化程度高等优势,集成了多项技术如视觉检测、WAFER ID追踪、RFID识别、AGV对接等;应用情况:广泛应用于光伏自动化行业,客户涵盖了隆基、通威、阿特斯、晶澳、中来等龙头企业

应用领域:PERC、TOPCon生产线等领域

核心参数:设备产能:11000pcs/h。

                  碎片率:≤0.02%(不含硅片本身缺陷所引起的碎片)
                  适用硅片:18X±0.5mm*18X±0.5mm至210±0.5mm*210±0.5mm,单/多晶硅片,方片/准方片;硅片厚度≥140μm
                  Uptime:≥99%
                  MTBF:≥500h
                  MTTR:<1h

联系人:司超        联系方式:13834046259

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