板式ALD自动化设备

来源:     作者:石小川     发布时间:2022年10月14日     浏览次数:         

产品型号:BSX-12

产品简介:板式ALD自动化:将经过板式PECVD工艺处理后的碳框载板内的硅片自动化取出装篮,并将没经过工艺处理的硅片自动化取出装入碳框载板;优势:产品具备结构简单、产能高、稳定性好、自动化程度高等优势,集成了多项技术如视觉检测、WAFER ID追踪、RFID识别、AGV对接等。应用情况:广泛应用于光伏自动化行业,客户涵盖了中来、晋能、红太阳、晶科等龙头企业。

应用领域:PERC、TOPCon、HJT生产线等领域

核心参数:设备产能:≥13500pcs/H(12×8石墨框);≥11500 pcs/H(10×8石墨框);主设备的产能不足时以主设备的产能为准。

                  碎片率:≤0.05%(不含硅片本身缺陷所引起的碎片)
                  适用硅片:18X±0.5mm*18X±0.5mm至210±0.5mm*210±0.5mm,单/多晶硅片,方片/准方片;硅片厚度≥140μm
                  Uptime:≥99%
                  MTBF:≥500h
                  MTTR:<1h

联系人:司超        联系方式:13834046259

打印  |  关闭