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板式ALD自动化设备
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发布时间：2022年10月14日
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产品型号：BSX-12
产品简介：板式ALD自动化：将经过板式PECVD工艺处理后的碳框载板内的硅片自动化取出装篮，并将没经过工艺处理的硅片自动化取出装入碳框载板；优势：产品具备结构简单、产能高、稳定性好、自动化程度高等优势，集成了多项技术如视觉检测、WAFER ID追踪、RFID识别、AGV对接等。应用情况：广泛应用于光伏自动化行业，客户涵盖了中来、晋能、红太阳、晶科等龙头企业。
应用领域：PERC、TOPCon、HJT生产线等领域
核心参数：设备产能：≥13500pcs/H（12×8石墨框）；≥11500 pcs/H（10×8石墨框）；主设备的产能不足时以主设备的产能为准。
碎片率：≤0.05%（不含硅片本身缺陷所引起的碎片）
适用硅片：18X±0.5mm*18X±0.5mm至210±0.5mm*210±0.5mm，单/多晶硅片，方片/准方片；硅片厚度≥140μm
Uptime：≥99%
MTBF：≥500h
MTTR：＜1h
联系人：司超 联系方式：13834046259
