镀膜自动化设备
产品型号:SSX-4D
产品简介:镀膜自动化:将经过管式PECVD工艺处理后的石墨舟内的硅片自动化取出装篮,并将没经过工艺处理的硅片自动化装入石墨舟。优势:产品具备结构简单、产能高、稳定性好、自动化程度高等优势,集成了多项技术如视觉检测、WAFER ID追踪、RFID识别、AGV对接等。应用情况:广泛应用于光伏自动化行业,客户涵盖了通威、中来、晋能、红太阳等龙头企业
应用领域:PERC、TOPCon生产线等领域
核心参数:设备产能:5500pcs/h。
碎片率: ≤0.05%(不含硅片本身缺陷所引起的碎片)
适用硅片:18X±0.5mm*18X±0.5mm至210±0.5mm*210±0.5mm,单/多晶硅片,方片/准方片;硅片厚度≥140μm
Uptime: ≥99%
MTBF: ≥500h
MTTR:<1h
联系人:司超 联系方式:13834046259