.png)
中能大束流离子注入机
来源：
发布时间：2022年10月11日
浏览次数：
产品型号：CI C200
产品简介：中能大束流离子注入机兼具较高的能量和较大的流强，基于成熟的大束流离子注入机平台，兼容B/P/As/In/H/He/O/等多种离子。可满足功率器件，SOI材料制备等不同工艺需求。
应用领域：Power Device，SOI(SMARTCUT,SIMOX)
核心参数：离子能量（Energy）：5-200 keV；
晶片尺寸（Wafer Size）:12 inch，8 inch；
注入元素：B,P,As,In,H,He,O；
剂量注入范围（Dose Range）：1E14 - 3E17 ions/cm2；
注入剂量均匀性（Uniformity）：离子能量＞10keV:1σ＜1.0%
Energy，离子能量＜10keV:1σ＜1.5%Energy
联系人：胡东京 联系方式：18611091830
