产品型号：CXS-XXXX

产品简介：CXS系列旋转冲洗甩干机主要用于半导体晶片、玻璃片、掩膜板等类似材料的高洁净度冲洗干燥工艺。自2000年推向市场以来，年装机量近200台，市场保有量超过2000台，作为四十五所的拳头产品已被国家列为替代进口产品，并获得多项国家奖励。设备满足半导体芯片制造过程中的干燥及颗粒度指标要求；具有优良的动平衡控制与静电消除功能；具有纯水电阻率检测功能；腔体材料和结构采用净化处理；转轴采用专用的气密封结构；

应用领域：该产品应用于半导体器件、半导体材料、MEMS 等领域

核心参数：晶圆材料：Si、蓝宝石、GaAs、.InP、SiC、GaN、钽酸锂、铌酸锂、半导体陶瓷