匀胶显影设备

来源:     作者:石小川     发布时间:2022年12月22日     浏览次数:         

DYX-640S自动匀胶显影机

产品简介:12英寸及以下英寸标准晶圆及非标衬底片的匀胶、显影、预烘工艺(包含不规则形状的喷胶)。

应用领域:IC、IGBT、TVS、SCRS、MEMS、LED、陶瓷薄膜器件等

核心参数:适用基片尺寸: 12寸及以下

                  曝光光强 :≥25mW/cm2
                  曝光分辨率: 1um(真空接触)
                  对准精度:1um
                  曝光不均匀性:±3%

联系人:宋伟峰        联系方式:13311257366

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