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晶圆探针测试台
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发布时间：2022年12月22日
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产品简介：经过近五十年技术积累，我司探针测试台已覆盖12英寸及以下晶圆的手动、半自动及全自动测试。
应用领域：IC、IGBT、TVS、SCRS、MEMS、LED、陶瓷薄膜器、SAW声表器件等
核心参数：可测晶圆规格 12寸及以下
适用晶圆厚度 0.3mm<T≤1mm(标准）
XY最大速度 X-Y台移动速度 ≥200mm/s
分辨率 0.001mm
定位精度 <0.003mm/200mm
Y轴 工作行程 500mm
分辨率 0.001mm
定位精度 <0.003mm/200mm
Z轴 工作行程 20MM
分辨率 0.001mm
定位精度 <0.003mm/15mm
θ轴 工作行程 ±30°
分辨率 0.00013°
定位精度 <0.01mm/150mm
联系人：宋伟峰 联系方式：13311257366
