晶圆探针测试台

来源:     作者:石小川     发布时间:2022年12月22日     浏览次数:         

TZ-606全自动探针测试台

产品简介:经过近五十年技术积累,我司探针测试台已覆盖12英寸及以下晶圆的手动、半自动及全自动测试。

应用领域:IC、IGBT、TVS、SCRS、MEMS、LED、陶瓷薄膜器、SAW声表器件等

核心参数:可测晶圆规格 12寸及以下

                  适用晶圆厚度 0.3mm<T≤1mm(标准)
                  XY最大速度 X-Y台移动速度 ≥200mm/s
                  分辨率 0.001mm
                  定位精度 <0.003mm/200mm
                  Y轴 工作行程  500mm
                  分辨率 0.001mm
                  定位精度 <0.003mm/200mm
                  Z轴 工作行程  20MM
                  分辨率 0.001mm
                  定位精度 <0.003mm/15mm
                  θ轴 工作行程  ±30°
                  分辨率 0.00013°
                  定位精度 <0.01mm/150mm

联系人:宋伟峰        联系方式:13311257366

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