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批靶大束流离子注入机
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发布时间：2022年10月11日
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产品型号：CI-S0400MBR06CF
产品简介：CI-S0400MBR06CF是一款针对SmartCut工艺研发的专用型设备。该机型针对压电材料的特殊性及SmartCut的工艺特殊要求做了针对性的设计。
应用领域：应用于铌酸锂、碳酸锂、硅等材料晶圆的氢注入或氦注入，满足相应材料薄膜制备需求。
核心参数：晶片尺寸（Wafer Size）:6 inch；
能量范围（EnergyRange）：30-400keV(单电荷) 30-400keV(single charge) ；
注入元素（Ion Species）：H,He,B,Ar；
晶片温度（Process Wafer temperature）:RT-200℃
联系人：胡东京 联系方式：18611091830
