批靶大束流离子注入机
产品型号:CI-S0400MBR06CF
产品简介:CI-S0400MBR06CF是一款针对SmartCut工艺研发的专用型设备。该机型针对压电材料的特殊性及SmartCut的工艺特殊要求做了针对性的设计。
应用领域:应用于铌酸锂、碳酸锂、硅等材料晶圆的氢注入或氦注入,满足相应材料薄膜制备需求。
核心参数:晶片尺寸(Wafer Size):6 inch;
能量范围(EnergyRange):30-400keV(单电荷) 30-400keV(single charge) ;
注入元素(Ion Species):H,He,B,Ar;
晶片温度(Process Wafer temperature):RT-200℃
联系人:胡东京 联系方式:18611091830