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SiC高温退火炉
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发布时间：2022年10月12日
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产品型号：R2121-3/UM
产品简介：设备特点：1、高纯特殊处理热场材料，器件品质及良率高; 2、垂直升降装卸片和自动送片系统；3、温场和流场耦合设计，均匀性优良；4、大生产工艺验证，工艺重复性和稳定性优异
应用领域：用于SiC器件高温退火离子激活工艺，可适用于 各种碳膜保护下的工艺要求
核心参数：1、晶片尺寸：6"（兼容4”）;
2、最大载片量：50片/批；
3、工艺温度：1000°C~1900°C;
4、恒温区长度：250mm;
5、控温精度：≤±1°C;
6、炉内温度均匀性：≤±5°C;
7、最大升温速率：100°C/mino
联系人：李富石 联系方式：15973176321
