SiC高温退火炉
产品型号:R2121-3/UM
产品简介:设备特点:1、高纯特殊处理热场材料,器件品质及良率高; 2、垂直升降装卸片和自动送片系统;3、温场和流场耦合设计,均匀性优良;4、大生产工艺验证,工艺重复性和稳定性优异
应用领域:用于SiC器件高温退火离子激活工艺,可适用于 各种碳膜保护下的工艺要求
核心参数:1、晶片尺寸:6"(兼容4”);
2、最大载片量:50片/批;
3、工艺温度:1000°C~1900°C;
4、恒温区长度:250mm;
5、控温精度:≤±1°C;
6、炉内温度均匀性:≤±5°C;
7、最大升温速率:100°C/mino
联系人:李富石 联系方式:15973176321